ICS 23.160 CCS T GVS J 78 团体 标准 T/GVS 005—2022 半导体装备 用绝压电容薄膜真空计比对法 测试规范 Testing specification for contrast method of absolute pressure capacitance diaphragm vacuum gauge in the semiconductor equipment 2022- 03 - 28发布 2022 - 03 - 28实施 广东省真空学会 发布 全国团体标准信息平台 全国团体标准信息平台 T/GVS 005 —2022 I 目次 前言 ................................ ................................ ................ III 1 范围 ................................ ................................ ............... 1 2 规范性引用文件 ................................ ................................ ..... 1 3 术语和定义 ................................ ................................ ......... 1 4 符号和缩略语 ................................ ................................ ....... 2 5 总则 ................................ ................................ ............... 3 6 测试条件要求 ................................ ................................ ....... 3 测试装备 ................................ ................................ ....... 3 标准真空计 ................................ ................................ ..... 4 测试气体 ................................ ................................ ....... 4 7 精度测试 ................................ ................................ ........... 4 安装 ................................ ................................ ........... 4 通电检查 ................................ ................................ ....... 5 预热 ................................ ................................ ........... 5 零点、满度调节 ................................ ................................ . 5 第一个静态平衡的测试压力点建立 ................................ ................. 5 标准真空计的压力值和被测真空计的压力值测量 ................................ ..... 5 拆卸 ................................ ................................ ........... 5 测试信息记录 ................................ ................................ ... 6 8 重复性精度测试 ................................ ................................ ..... 6 测试要求 ................................ ................................ ....... 6 测试步骤 ................................ ................................ ....... 6 测试信息记录 ................................ ................................ ... 6 9 零点、满度温度系数测试 ................................ ............................. 6 测试要求 ................................ ................................ ....... 6 测试步骤 ................................ ................................ ....... 6 测试信息记录 ................................ ................................ ... 6 10 数据处理 ................................ ................................ .......... 7 精度 ................................ ................................ .......... 7 修正因子 ................................ ................................ ...... 7 重复性精度 ................................ ................................ .... 7 零点、满度温度系数 ................................ ............................ 7 测量不确定度 ................................ ................................ .. 8 11 复测时间间隔 ................................ ................................ ...... 8 附录A（资料性） 电容薄膜真空计精度测试记录表格式 ................................ ..... 9 附录B（资料性） 电容薄膜真空计重复性精度测试记录表格式 .............................. 10 全国团体标准信息平台 T/GVS 005 —2022 II 附录C（资料性） 电容薄膜真空计零点、满度温度系数测试记录表格式 ....................... 11 全国团体标准信息平台 T/GVS 005 —2022 III 前言 本文件按照 GB/T 1.1—2020《标准化工作导则 第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由 季华实验室 提出。 本文件由广东省真空学会归口。 本文件起草单位： 季华实验室、暨南大学、佛山市佛欣真空技术有限公司、中山共享光电真空技术 有限公司、中山凯旋真空科技股份有限公司、佛山兴翰科技有限公司。 本文件主要起草人： 卫红、刘乔、侯少毅、胡强、胡琅、王凤双、刘彭义、陈科球、唐振方、武文 全、徐中武、聂鹏、王威。 本文件为首次发布。 全国团体标准信息平台 全国团体标准信息平台 T/GVS 005 —2022 1 半导体装备用绝压电容薄膜真空计比对法测试规范 1 范围 本文件规定了 半导体装备 用绝压电容薄膜真空计比对法测试的术语 和定义、符号和缩略语、总则、 测试条件要求、精度测试、重复性精度测试、零点、满度温度系数测试、数据处理、复测时间。通过对 这些内容的描述，可推知能够适用于半导体装备用电容薄膜真空计的测试方法及过程。 半导体制造过程工艺复杂且多数工艺需在真空条件下进行，因此，真空度的准