(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210940713.0 (22)申请日 2022.08.06 (71)申请人 深圳市华力宇电子科技有限公司 地址 518101 广东省深圳市宝安区航城街 道黄田社区黄田杨贝工业区一期4栋 201、 301、 402 (72)发明人 廖钰　 (51)Int.Cl. G06F 16/27(2019.01) G06F 16/23(2019.01) H01L 21/67(2006.01) (54)发明名称 一种晶圆测试 数据的同步方法及系统 (57)摘要 本申请涉及一种晶圆测试数据的同步方法 及系统， 其方法包括： 通过晶圆测试的第N步工序 的本地服务器获取第N步工序的测试结果数据和 测试设备位置； 判断第N步工序的测试设备位置 与第N+1步工序的测试设备位置是否相同； 如果 相同， 则通过第N步工序的本地服务器将第N步工 序的测试结果数据作为第N+1步工序的测试基础 数据； 如果不同， 则将第N步工序的测试结果数据 发送至第N+1步工序的本地服务器， 作为第N+1步 工序的测试基础数据。 本申请具有提高数据传输 的时效性， 降低人工操作过程中出现失误情况发 生的可能性， 从而尽可能保证测试数据的准确性 的效果。 权利要求书2页 说明书10页 附图7页 CN 115309822 A 2022.11.08 CN 115309822 A 1.一种晶圆测试 数据的同步方法， 其特 征在于， 包括： 通过晶圆测试的第N步工序的本地服务器获取第N步工序的测试结果数据和测试设备 位置； 判断第N步工序的测试设备位置与第N+1步工序的测试设备位置是否相同； 如果相同， 则通过所述第 N步工序的本地服务器将第N步工序的测试结果数据作为第N+ 1步工序的测试基础数据； 如果不同， 则将所述第N步工序的测试结果数据发送至第N+1步工序的本地服务器， 作 为第N+1步工序的测试基础数据。 2.根据权利要求1所述的同步方法， 其特征在于， 所述将所述第N步工序的测试结果数 据发送至第N+1步工序的本地 服务器， 作为第N+1步工序的测试基础数据， 包括： 获取第N+1步工序的测试基础数据； 判断所述第N+1步工序的测试基础数据与所述第N 步工序的测试 结果数据是否相同； 若不同， 则获取所述第N+1步工序的测试基础数据与所述第N步工序的测试结果数据的 差异数据； 将所述差异数据发送至所述第N+1步工序的本地服务器， 以更新所述第N+1步工序的测 试基础数据。 3.根据权利要求1所述的同步方法， 其特征在于， 所述获取第 N步工序的测试结果数据， 包括： 通过第N步工序的本地 服务器获取第N次的测试 结果数据和第N+1次的测试 结果数据； 通过第N步工序的本地服务器判断所述第N+1次的测试结果数据与所述第N次的测试结 果数据是否相同； 若不同， 则通过第N步工序的本地服务器获取所述第N+1次的测试结果数据与所述第N 次的测试 结果数据的调整数据； 基于所述调 整数据调整所述第 N步工序的测试结果数据， 以获得新的第 N步工序的测试 结果数据。 4.根据权利要求3所述的同步方法， 其特征在于， 在所述获取第N步工序的测试结果数 据之后， 还 包括： 基于第N步工序的测试 结果数据生成M级版本号； 基于所述M级版本号和所述新的第N步工序的测试结果数据生成M+1级版本号， 并保留 所述第N步工序的测试 结果数据和所述 N级版本号。 5.根据权利要求1所述的同步方法， 其特征在于， 在所述通过晶圆测试的第N步工序的 本地服务器获取第N 步工序的测试 结果数据和 测试设备位置之前， 还 包括： 获取通过晶圆测试的第N步工序的本地服务器获取第N步工序的测试结果数据的前一 次获取时间； 获取当前时间； 基于所述当前时间和所述获取时间获取间隔时长； 判断所述间隔时长是否大于或等于预设时长； 若所述间隔时长大于或等于所述预设时长， 则获取 数据获取指令； 基于所述数据获取指令通过晶圆测试的第N步工序的本地服务器获取第N步工序的测权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115309822 A 2试结果数据； 若所述间隔时长小于所述预设时长， 则不获取 数据获取指令 。 6.根据权利要求1所述的同步方法， 其特 征在于， 还 包括： 通过晶圆测试的第N 步工序的本地 服务器获取第N 步工序的测试设备参数； 判断所有所述第N 步工序的测试设备参数 是否相同； 若不同， 则基于所述测试设备参数获取 所述测试设备参数不同的测试设备位置 。 7.根据权利要求6所述的同步方法， 其特征在于， 在所述基于所述测试设备参数获取所 述测试设备参数不同的测试设备位置之后， 还 包括： 获取相同工序的不同的所述测试设备参数的调整记录； 基于所述调整记录判断所述测试设备参数不同的所述测试设备的测试设备参数调整 是否规范； 若不规范， 则基于所述测试设备位置生成报警信息 。 8.根据权利要求7 所述的同步方法， 其特 征在于， 还 包括： 若所述测试设备参数调整规范， 则获取调整的测试设备的测试结果数据， 作为调整测 试数据； 将所述调整测试数据覆盖其他的下一步工序的不同的所述测试设备所在的本地服务 器的测试基础数据。 9.一种晶圆测试数据的同步系 统， 其特征在于， 包括： 管理服务器(3)、 本地服务器(2) 和测试设备(1)； 所述测试设备(1)， 用于生成晶圆测试的第N 步工序的测试 结果数据和 测试设备位置； 所述本地 服务器(2)， 用于获取 所述测试 结果数据和所述测试设备位置； 所述管理服务器(3)， 用于接收所述本地服务器(2)发送的所述测试结果数据和所述测 试设备位置； 所述管理服务器(3)， 还用于判断第N步工序的测试设备(1)位置与第N+1步工序的测试 设备位置是否相同； 如果相同， 则通过所述第N步工序的本地服务器(2)将第N步工序的测试 结果数据作为第N+1步工序的测试基础数据； 如果不同， 则将所述第N步工序的测试结果数 据发送至第N+1步工序的本地 服务器(2)， 作为第N+1步工序的测试基础数据。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115309822 A 3