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(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210601221.9 (22)申请日 2022.05.30 (71)申请人 江苏亚电科技有限公司 地址 225500 江苏省泰州市姜堰区三水街 道科技大道151号 (72)发明人 钱诚 李刚 王长江 (74)专利代理 机构 北京商专润文专利代理事务 所(普通合伙) 11317 专利代理师 陈平 (51)Int.Cl. B08B 3/02(2006.01) B08B 13/00(2006.01) H01L 31/18(2006.01) (54)发明名称 PSG水膜喷淋机构及光伏硅片附水膜方法 (57)摘要 本发明公开了PSG水膜喷淋机构, 包括框架, 所述框架内部上端设置有用于形成水膜的成排 设置的喷淋管, 所述喷淋管成两排设置, 所述喷 淋管下方设置有用于传输光伏硅片的传送辊, 所 述传送辊下方设置有吹风管, 所述吹风管设置于 相邻的两个所述传送辊之间的间隙处。 有益效果 在于: 本发明设置的传送辊上设置有多个凸块, 吹风管上设置有多个喷气嘴, 喷气嘴均匀设置在 每两个凸块之间, 保证吹风均匀, 阻止水膜喷淋 设备喷出的水进入光伏硅片的下表 面, 提高清洗 效果。 权利要求书1页 说明书3页 附图3页 CN 115156142 A 2022.10.11 CN 115156142 A 1.PSG水膜喷淋机构, 包括框架, 其特征在于, 所述框架内部上端设置有水膜喷淋设备 用于形成水膜的成排设置的喷淋管, 所述喷淋管成两排设置, 所述喷淋管下方设置有用于 传输光伏硅片的传送辊, 所述传送辊下方设置有吹风管, 所述吹风管设置于相邻的两个所 述传送辊 之间的间隙处, 所述传送辊上 连接有多个凸块, 所述凸块 为圆柱形; 相邻两根所述传送辊的所述凸块错位设置; 所述吹风管顶部设置有多个喷气嘴, 每根 所述吹风管上 的所述喷气嘴设置为前后两排, 所述喷气嘴开口向上, 所述喷气嘴位于每两 个所述凸块之间。 2.根据权利要求1所述的PSG水膜喷淋机构, 其特征在于, 所述吹风管底部连接有通气 管, 所述通气管将所述吹风管互相连通, 所述通气管连接有 供气管, 所述供气管位于所述传 送辊一侧。 3.根据权利要求2所述的PSG水膜喷淋机构, 其特征在于, 所述吹风管顶部设置有多个 喷气嘴, 每根吹风管上的喷气嘴设置为前后两排, 喷气嘴开口向上, 喷气嘴位于每两个凸块 之间。 4.根据权利要求1所述的PSG水膜喷淋机构, 其特征在于, 所述喷气嘴分为左右两组, 分 别用了对两块平行的光伏硅片进行喷气。 5.根据权利要求1所述的PSG水膜喷淋机构, 其特征在于, 光伏硅片的宽边的边缘对应 有喷气嘴。 6.一种光伏硅片附水膜方法, 使用权利要求1 ‑5任一项所述的PSG水膜喷淋机构, 其特 征在于, 由传送辊(3)承载光伏硅片(9)向传输方向移动, 光伏硅片(9)的宽度方向边缘对应 设置有喷气嘴(41), 光伏硅片(9)长度方向上至少能够覆盖(5)个喷气嘴(41), 宽度方向至 少能够对应(3)个喷气嘴(41)。 7.根据权利要求6所述的光伏硅片附水膜方法, 其特征在于, 每排喷气嘴均能够单独控 制开闭。 8.根据权利要求7所述的光伏硅片附水膜方法, 其特征在于, 设置传感器或者视频对光 伏硅片相对于喷气嘴(4 1)的位置监控, 对光伏硅片传输方向前方的喷气嘴(4 1)的开闭进 行 控制, 当传感器或者视频监控监控到某排的喷气嘴(4 1)距离光伏硅片小于等于 设置的距离 时, 开启喷气嘴(41), 以防止喷气嘴(41)影响喷淋管(2)喷淋出的水雾, 防止水雾被吹到光 伏硅片下 方。 9.根据权利要求8所述的光伏硅片附水膜方法, 其特 征在于, 设置的距离为1厘米。权 利 要 求 书 1/1 页 2 CN 115156142 A 2PSG水膜喷淋机构及光 伏硅片附水膜方 法 技术领域 [0001]本发明涉及喷淋设备技术领域, 特别是涉及PSG水膜喷淋机构及光伏硅片附水膜 方法。 背景技术 [0002]随着科技的发展, 尤其是晶硅技术的发展, PE RC太阳能电池片外观要求比较严格, 在电池片背面刻蚀过程中, 背面去除PSG时, 电池片通过水膜喷淋机构, 使电池片正面形成 水膜保护, 在电池片正面采用水膜保护的条件下对电池片背面扩散后形成的PSG进 行去除, 目前的水膜喷淋机构, 其传输辊下方设置有 吹风管道, 吹风管道只有一个较大 的向上的喷 口, 吹风不够均匀, 可能导 致喷出的水进入光伏硅片的下表面, 清洗效果 一般。 发明内容 [0003]本发明的目的就在于为了解决上述问题而提供P SG水膜喷淋机构。 [0004]本发明通过以下技 术方案来实现上述目的: [0005]1.PSG水膜喷淋机构, 包括框架, 所述框架内部上端 设置有水膜喷淋设备用于形成 水膜的成排设置的喷淋管, 所述喷淋管成两排设置, 所述喷淋管下方设置有用于传输光伏 硅片的传送辊, 所述传送辊下方设置有 吹风管, 所述吹风管设置于相邻的两个所述传送辊 之间的间隙处, 所述传送辊上 连接有多个凸块, 所述凸块 为圆柱形; [0006]相邻两根所述传送辊的所述凸块错位设置; 所述吹风管顶部设置有多个喷气嘴, 每根所述吹风管上 的所述喷气嘴设置为前后两排, 所述喷气嘴开口向上, 所述喷气嘴位于 每两个所述凸块之间。 [0007]优选地, 本发明的PSG水膜喷淋机构, 所述吹风管底部连接有通气管, 所述通气管 将所述吹风管互相连通, 所述 通气管连接有供气管, 所述供气管位于所述传送辊一侧。 [0008]优选地, 本发明的PSG水膜喷淋机构, 所述吹风管顶部设置有多个喷气嘴, 每根吹 风管上的喷气嘴设置为前后两排, 喷气嘴开口向上, 喷气嘴位于每两个凸块之间。 [0009]优选地, 本发明的PSG水膜喷淋机构, 所述喷气嘴分为左右两组, 分别用了对两块 平行的光伏硅片进行喷气。 [0010]优选地, 本发明的P SG水膜喷淋机构, 光伏硅片的宽边的边 缘对应有喷气嘴。 [0011]6.一种光伏硅片附水膜方法, 使用权利要求1 ‑5任一项所述的PSG水膜喷淋机构, 由传送辊承载光伏硅片向传输方向移动, 光伏硅片的宽度方向边缘对应设置有喷气嘴, 光 伏硅片长度方向上至少能够覆盖个喷气嘴, 宽度方向至少能够对应 个喷气嘴。 [0012]优选地, 本发明的光伏硅片附水膜方法, 每排喷气嘴均能够单独控制开闭。 [0013]优选地, 本发明的光伏硅片附水膜方法, 设置传感器或者视频对光伏硅片相对于 喷气嘴的位置监控, 对光伏硅片传输方向前方的喷气嘴的开闭进行控制, 当传感器或者视 频监控监控到某排的喷气嘴距离光伏硅片小于等于设置的距离时, 开启喷气嘴, 以防止 喷 气嘴影响喷淋管喷淋出的水雾, 防止水雾被吹到光伏硅片下 方。说 明 书 1/3 页 3 CN 115156142 A 3
专利 PSG水膜喷淋机构及光伏硅片附水膜方法
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