(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210573310.7 (22)申请日 2022.05.25 (71)申请人 合肥升滕半导体技 术有限公司 地址 230000 安徽省合肥市新站区新蚌埠 路与谷河路交口佳海工业城G区3 3号 (72)发明人 许杰　 (74)专利代理 机构 北京众允专利代理有限公司 11803 专利代理师 王景禾 (51)Int.Cl. B08B 3/08(2006.01) B08B 3/10(2006.01) B08B 3/12(2006.01) B08B 3/02(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (54)发明名称 一种适用于化学清洗的半自动化清洗线 (57)摘要 本发明涉及气体扩散器清洗领域， 具体公开 了一种适用于化学清洗的半自动化清洗线， 其包 括： 清洁线体、 高压清洗室和自检平台； 所述清洁 线体包括清洁室， 所述清洁室内依次设置有超声 脱脂槽、 碱洗槽、 酸蚀槽、 酸洗槽和超声热水洗 槽， 且相邻之间设置有水洗槽； 所述高压清洗室 设在清洁线体的一侧， 所述高压清洗室包括挂 杆； 所述自检平台设置在高压清洗室的一侧， 所 述自检平台包括自检室， 所述自检 室的一侧设置 有多个挂设架， 本发明通过设置清洁线体、 高压 清洗室和自检平台， 能够对气体扩散器进行有效 的清洁清理， 并通过设置高压清洁线体， 对残留 的液体进一步的清洁冲洗， 通过自检 室对清洁后 的气体扩散 器进行检测。 权利要求书1页 说明书4页 附图2页 CN 114887982 A 2022.08.12 CN 114887982 A 1.一种适用于化学清洗的半自动化清洗线， 其特征在于， 其包括： 清洁线体、 高压清洗 室和自检平台； 所述清洁线体包括清洁室， 所述清洁室内依次设置有超声脱脂槽、 碱洗槽、 酸蚀槽、 酸 洗槽和超声热 水洗槽， 且相邻之间设置有水洗 槽； 所述高压清洗室设在清洁线体的一侧， 所述高压清洗室包括挂杆， 所述挂杆的外圈环 绕式设置有 多个冲洗管； 所述自检平台设置在高压清洗室的一侧， 所述自检平台包括自检室， 所述自检室的一 侧设置有 多个挂设架。 2.根据权利要求1所述的一种适用于化学清洗的半 自动化清洗线， 其特征在于， 所述清 洁线体还包括行车框， 所述行车框上安装有滚轴， 所述滚轴的两端通过导向轨与清洁室的 两端滚动连接， 所述行 车框上设置有控制组件。 3.根据权利要求2所述的一种适用于化学清洗的半 自动化清洗线， 其特征在于， 所述控 制组件包括控制 板， 所述控制 板的两端通过导向杆与行车框竖直滑动连接， 所述导向杆 的 底部连接有夹持机构， 所述控制板的顶部固定有连接带， 所述连接带的顶部固定有收卷杆， 所述收卷 杆的一端安装有驱动电机一。 4.根据权利要求3所述的一种适用于化学清洗的半 自动化清洗线， 其特征在于， 所述夹 持机构包括轴杆， 所述轴杆横向固定在导向杆的底部， 所述轴杆的外圈套接有夹持头， 所述 轴杆位于 夹持头的内腔端部安装有支撑弹簧。 5.根据权利要求1所述的一种适用于化学清洗的半 自动化清洗线， 其特征在于， 所述滚 轴设置有两个， 其中一个所述滚轴连接有驱动电机二， 每个所述清洁室位于超声脱脂槽、 碱 洗槽、 酸蚀槽、 酸洗 槽、 超声热 水洗槽和水洗 槽的上方均设置有行 车定位机构。 6.根据权利要求5所述的一种适用于化学清洗的半 自动化清洗线， 其特征在于， 所述行 车定位机构包括伸缩电机， 所述伸缩电机竖直安装在清洁室的侧 壁上， 所述伸缩电机的底 部伸长端固定有定位块， 所述定位块为三角形结构， 且所述定位块的底部长度大于两个滚 轴之间的间距。 7.根据权利要求1所述的一种适用于化学清洗的半 自动化清洗线， 其特征在于， 所述挂 杆的顶部有控制 盘， 所述控制盘的上端安装有驱动电机三， 所述冲洗管靠近挂杆的一侧 安 装有若干冲洗喷头 。 8.根据权利要求1所述的一种适用于化学清洗的半 自动化清洗线， 其特征在于， 所述超 声脱脂槽、 碱洗槽、 酸蚀槽、 酸洗槽、 超声热水洗槽和水洗槽上均安装有空气搅拌组件和抽 风机， 并均设置有加水 管、 排水管和溢流口。 9.根据权利要求8所述的一种适用于化学清洗的半 自动化清洗线， 其特征在于， 所述超 声脱脂槽和超声热 水洗槽内安装有超声 波组件和 加温组件。 10.根据权利要求9所述的一种适用于化学清洗的半自动化清洗线， 其特征在于， 所述 超声脱脂槽和超声热水洗槽为不锈钢材质， 所述碱洗槽、 酸蚀槽、 酸洗槽和水洗槽为PP材 质。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 114887982 A 2一种适用于化学清洗的半自动化清洗线 技术领域 [0001]本发明涉及气体扩散器清洗领域， 具体是一种适用于化学清洗的半自动化清洗 线。 背景技术 [0002]气体扩散器在使用的腔室内进行作业， 会附着大量沉积物在表面， 随着沉积物的 堆积， 会影响使用效果， 故须下机进行维修清洗， 去除附着物， 清洗完毕后再安装到工艺腔 内进行使用， 现有的线体设计简单， 难以对清洗工艺参数进 行严格把控， 故存在清洗效果不 佳的现象。 发明内容 [0003]针对现有的问题， 本发明提供一种适用于化学清洗 的半自动化清洗线， 通过设置 清洁线体、 高压清洗 室和自检平台， 能够 对气体扩散器进行有效的清洁清理， 并通过设置高 压清洁线体， 对残留的液体进一步的清洁冲洗， 提高清洁效果， 并且通过自检室对清洁后的 气体扩散器进 行检测， 是否达到清洁要求以及损伤情况， 提高效率和质量， 可以有效的解决 背景技术中提出的问题。 [0004]为解决上述问题， 本发明采用如下的技 术方案： [0005]一种适用于化学清洗的半自动化清洗线， 其包括： 清洁线体、 高压清洗室和自检平 台； 所述清洁线体包括清洁平台， 所述清洁室内依次设置有超声脱脂槽、 碱洗槽、 酸蚀槽、 酸 洗槽和超声 热水洗槽， 且相 邻之间设置有 水洗槽； 所述高压清洗 室设在清洁线体的一侧， 所 述高压清洗室包括挂杆， 所述挂杆的外圈环绕式设置有多个冲洗管； 所述自检平台设置在 高压清洗室的一侧， 所述自检平台包括自检室， 所述自检室的一侧设置有 多个挂设架。 [0006]作为本发明再进一步的方案： 所述清洁线体还包括行车框， 所述行车框上安装有 滚轴， 所述滚轴的两端通过导向轨与清洁室的两端滚动连接， 所述行车框上设置有控制组 件。 [0007]作为本发明再进一步的方案： 所述控制组件包括控制板， 所述控制板 的两端通过 导向杆与行车框竖直滑动连接， 所述导向杆 的底部连接有夹持机构， 所述控制 板的顶部固 定有连接带， 所述连接带的顶部固定有收卷 杆， 所述收卷 杆的一端安装有驱动电机一。 [0008]作为本发明再进一步的方案： 所述夹持机构包括轴杆， 所述轴杆横向固定在导向 杆的底部， 所述轴 杆的外圈套接有夹持头， 所述轴杆位于夹持头的内腔端部安装有支撑弹 簧。 [0009]作为本发明再进一步的方案： 所述滚轴设置有两个， 其中一个所述滚轴连接有驱 动电机二， 每个所述清洁室位于超声脱脂槽、 碱洗槽、 酸蚀槽、 酸洗槽、 超声 热水洗槽和水洗 槽的上方均设置有行 车定位机构。 [0010]作为本发明再进一步的方案： 所述行车定位机构包括伸缩电机， 所述伸缩电机竖 直安装在清洁室的侧 壁上， 所述伸缩电机的底部伸长端固定有定位块， 所述定位块为三角说　明　书 1/4 页 3 CN 114887982 A 3