(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210577085.4 (22)申请日 2022.05.25 (71)申请人 江苏龙恒新能源 有限公司 地址 223800 江苏省 宿迁市经济技 术开发 区上海路12 99号 (72)发明人 刘飞　顾玉龙　桂山　刘爱楚　 (74)专利代理 机构 南京安藤 洋知识产权代理事 务所(普通 合伙) 32660 专利代理师 孙清晓 (51)Int.Cl. H01L 21/67(2006.01) H01L 21/683(2006.01) B08B 3/02(2006.01) B08B 3/08(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (54)发明名称 一种槽式碱抛光清洗设备 (57)摘要 本发明公开了一种槽式碱抛光清洗设备， 涉 及太阳能电池生产设备技术领域。 该设备的清洁 槽内设有用于夹持固定晶片的夹持机构， 夹持机 构包括用于吸附固定晶片的吸盘， 吸盘通过固定 座活动连接在清洁槽内， 清洁槽内侧壁上滑移连 接有活动块， 活动块与固定座之间通过连动杆相 互固定， 活动块对称设置在清洁槽内相对的两侧 面上， 每侧面上均设有对称设置的两块活动块， 能够对固定晶片的固定座的位置进行调整， 在晶 片尺寸较小时， 能够将固定座整体间距减小， 晶 片尺寸较大时， 也能够将固定座整体间距增大， 从而实现固定座与晶片之间的互相适配， 使固定 座始终固定在晶片的对应位置， 避免造成无法固 定或晶片边缘损坏的问题， 还能防止较硬的连接 点损伤晶片。 权利要求书1页 说明书4页 附图3页 CN 114783919 A 2022.07.22 CN 114783919 A 1.一种槽式碱抛光清洗设备， 包括机体(1)、 设于机体(1)内的清洁槽(11)和清洗机构 (12)， 其特征在于： 所述清洁槽(11)内设有用于夹持固定晶片的夹持机构(2)， 夹持机构(2) 包括用于吸附固定晶片的吸盘(21)， 吸盘(21)通过固定座(26)活动连接在清洁槽(11)内， 清洁槽(11)内侧壁上滑移连接有活动块(22)， 活动块(22)与固定座(26)之间通过连动杆 (25)相互固定， 活动块(22)对称设置在清洁槽(11)内相对的两侧面上， 每侧面上均设有对 称设置的两块活动块(22)， 夹持机构(2)还包括摄于清洁槽(11)内侧壁上的用于带动对应 活动块(22)沿横向相对滑动的横向驱动件(3)， 以及用于带动对应活动块(22)沿纵向相对 滑动的纵向驱动件(4)。 2.根据权利要求1所述的一种槽式碱抛光清洗设备， 其特征在于： 所述横向驱动件(3) 包括横向驱动座(31)， 横向驱动座(31)上开设有水平方 向设置的驱动槽(23)， 活动块(22) 滑动连接在驱动槽(23)内， 清洁槽(11)内侧壁上开设有活动腔(24)， 横向活动座整体滑动 连接在活动腔(24)内。 3.根据权利要求2所述的一种槽式碱抛光清洗设备， 其特征在于： 所述横向驱动件(3) 包括转动连接在驱动槽(23)内的驱动丝杠(32)， 驱动丝杠(32)上设有两段螺纹方向相反的 螺纹段(33)， 驱动丝杠(32)两端分别穿透同侧的两个活动块(22)并与之螺纹连接， 两个活 动块(22)分别位于两个螺纹段(33)内， 驱动丝杠(32)由固定在横向驱动座(31)上的驱动电 机(34)驱动旋转。 4.根据权利要求2所述的一种槽式碱抛光清洗设备， 其特征在于： 所述纵向驱动件(4) 包括固定在活动腔(24)内的纵向电机(41)， 纵向电机(41)的输出轴上固定有纵向丝杠 (42)， 横向驱动座(31)上固定有连接杆(44)， 连接杆(44)对称设有两根， 两根连接杆(44)之 间设有推动块(43)， 纵向丝杠(42)穿透推动块(43)并与之螺纹连接 。 5.根据权利要求1所述的一种槽 式碱抛光清洗设备， 其特征在于： 所述清洗机构(12)包 括若干个固定在清洁槽(11)内侧壁上的清洁头(121)， 清洁头(121)朝向晶片中心位置设 置， 清洁头(121)设有两组， 分别固定在清洁槽(1 1)内侧壁上 下对应的两个高度。 6.根据权利要求1所述的一种槽式碱抛光清洗设备， 其特征在于： 所述机体(1)上设有 用于封闭和开启清洁槽(11)的盖板(13)， 盖板(13)通过转动轴(51)转动连接在机体(1)上， 盖板(13)的大小于清洁槽(11)相互适配， 机体(1)上设有用于驱动转动轴(51)和盖板(13) 旋转的转动件(5)。 7.根据权利要求6所述的一种槽式碱抛光清洗设备， 其特征在于： 所述转动件(5)包括 固定在机体(1)上的转动电机(52)， 转动电机(52)的输出轴上设有转动蜗杆(54)， 转动轴 (51)上同轴心设有转动蜗轮(5 3)， 转动蜗杆(54)于转动蜗轮(5 3)相互啮合设置 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 114783919 A 2一种槽式碱抛光清洗设 备 技术领域 [0001]本发明涉及太阳能电池生产设备技术领域， 特别是涉及一种槽式碱抛光清洗设 备。 背景技术 [0002]太阳能电池组件是由高效单晶/多晶太阳能电池片、 低铁超白绒面钢化玻璃、 封装 材料(EVA、 POE等)、 功能背板， 互联条， 汇流条， 接线盒以及铝合金边框组成。 其使用寿命可 达15‑25年。 [0003]单体太阳电池不能直接做电源使用。 作电源必须将若干单体电池串、 并联连接和 严密封装成组件。 太阳能电池组件是太阳能发电系统中的核心部分， 也是太阳能发电系统 中最重要的部分。 [0004]在生产太阳能电池组件时， 需要用到抛光清洁设备。 为了提高生产效率， 提高竟争 力， 太阳能生产厂商都加大力度降低硅片率， 降低生产成本， 同时对电池硅片的质量和生产 成本提出了更高要求。 [0005]目前， 公开号为CN215508099U的中国专利公开了一种槽式清洗设备， 包括清洁箱、 存放机构、 缓冲组件、 喷淋机构和干燥机构， 用于对晶片进 行放置的存放机构安装在清洁箱 的内部， 四组结构相同的缓冲 组件分别安装在清洁箱的底部四角处， 用于对晶体进行清洁 的喷淋机构安装在清洁箱的内部， 用于对清洁后的晶体进 行烘干的干燥机构安装在清洁箱 的内部。 [0006]这种清洗设备具有晶片被清洗更加彻底， 且便于对清洁后的晶片进行快速干燥的 优点， 但是这种清洁设备在清洗晶片时， 需要将晶片整体固定在清洗槽内， 现有的固定结构 存在连接点较硬， 在冲洗作用下容易损伤晶片的问题， 同时固定点位置是恒定的， 若晶片尺 寸较大， 固定点靠近晶片中间位置， 容易造成边缘位置的晶片损坏， 而晶片较小时， 则存在 固定点较 远， 无法固定的问题。 发明内容 [0007]本发明针对上述 技术问题， 克服现有技 术的缺点， 提供一种槽式碱抛光清洗设备。 [0008]为了解决以上技 术问题， 本发明提供一种槽式碱抛光清洗设备。 [0009]技术效果： 这种清洗设备能够对固定 晶片的固定座的位置进行调整， 在晶片尺寸 较小时， 能够将固定座整体间距减小， 晶片尺寸较大时， 也能够将固定座整体间距增大， 从 而实现固定座与晶片之间的互相适配， 使固定座始终固定在晶片的对应位置， 避免造成无 法固定或晶片边缘损坏的问题， 同时固定座通过吸盘将晶片吸 附固定， 防止较硬的连接点 损伤晶片。 [0010]本发明进一步限定的技术方案是： 一种槽式碱抛光清洗设备， 包括机体、 设于机体 内的清洁槽和清洗机构， 清洁槽内设有用于夹持固定晶片的夹持机构， 夹持机构包括用于 吸附固定晶片的吸盘， 吸盘通过固定座活动连接在清洁槽内， 清洁槽内侧 壁上滑移连接有说　明　书 1/4 页 3 CN 114783919 A 3