(19)国家知识产权局 (12)发明 专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202210526412.3 (22)申请日 2022.05.16 (65)同一申请的已公布的文献号 申请公布号 CN 114602872 A (43)申请公布日 2022.06.10 (73)专利权人 宁波润华全芯微电子设备有限公 司 地址 315400 浙江省宁波市余 姚市阳明街 道新桥村村委东首 (72)发明人 耿克涛　姜岩松　刘长伟　 (74)专利代理 机构 浙江中桓凯通专利代理有限 公司 33376 专利代理师 李美宝 (51)Int.Cl. B08B 3/02(2006.01)B08B 3/04(2006.01) B08B 13/00(2006.01) 审查员 王向阳 (54)发明名称 一种喷嘴测试保湿盒 (57)摘要 本发明公开了一种喷嘴测试保湿盒， 包括： 保湿盒本体； 多个喷嘴安装孔， 所述喷嘴安装孔 开设于所述保湿盒本体的顶面； 收集槽， 所述收 集槽设于 所述保湿盒本体内， 所述收集槽连通所 有所述喷嘴安装孔远离所述保湿盒本体顶面的 一端； 排液口， 所述排液口开设于所述保湿盒本 体的任意一侧， 并连通所述收集槽。 本发明解决 了保湿盒无法对多个喷嘴进行保湿和测试并将 废液集中排出的问题。 权利要求书1页 说明书7页 附图7页 CN 114602872 B 2022.08.23 CN 114602872 B 1.一种喷 嘴测试保湿盒， 其特 征在于， 包括： 保湿盒本体； 多个喷嘴安装孔， 所述喷 嘴安装孔 开设于所述保湿盒本体的顶面； 收集槽， 所述收集槽设于所述保湿盒本体内， 所述收集槽连通所有所述喷嘴安装孔远 离所述保湿盒本体顶面的一端； 排液口， 所述 排液口开设于所述保湿盒本体的任意 一侧， 并连通所述收集槽； 喷嘴安装槽， 所述喷嘴安装槽设于所述喷嘴安装孔的顶部； 其中， 多个所述喷嘴安装孔 沿直线布设， 所述喷 嘴安装槽连通所有所述喷 嘴安装孔； 至少一个清洗通道， 所述清洗通道开设于所述保湿盒本体的侧面， 所述清洗通道与所 述喷嘴安装孔的横截面相切， 每 个所述喷 嘴安装孔对应至少一个所述清洗通道； 安装面， 所述安装面位于所述保湿盒本体的侧面， 并且所述安装面与多个所述喷嘴安 装孔布设的方向平行； 第一插槽， 所述第一插槽开设于所述保湿盒本体的顶面， 并位于所述安装面和所述喷 嘴安装孔之间， 所述第一插槽与所述 安装面平行； 第二加强件， 设于所述第一插槽； 其中， 所述清洗通道穿过所述第二加强件； 所述第二 加强件包括多个固定板， 所述固定板朝向所述第一插槽， 相邻的所述固定板之间形成弹性 槽， 所述第一插槽包括多个挡筋， 所述挡筋设于所述弹性槽 。 2.根据权利要求1所述的喷 嘴测试保湿盒， 其特 征在于， 所述清洗通道包括： 喷嘴外周清洗通道和喷 嘴内壁清洗通道； 其中， 每个所述喷嘴安装孔连通至少一个所述喷嘴外周清洗通道和至少一个所述喷嘴 内壁清洗通道， 所述喷嘴外周清洗通道位于所述喷嘴内壁清洗通道远离所述保湿盒本体顶 部的一侧。 3.根据权利要求2所述的喷 嘴测试保湿盒， 其特 征在于， 所述喷 嘴测试保湿盒包括： 第一加强件， 所述第一加强件设于所述 安装面； 其中， 所述清洗通道穿过 所述第一加强件和所述保湿盒本体至所述喷 嘴安装孔。 4.根据权利要求3所述的喷嘴测试保湿盒， 其特征在于， 所述喷嘴测试保湿盒还包括： 第一固定孔， 所述第一固定孔 穿过所述第一加强件、 所述第二加强件和所述保湿盒本体； 所述第一固定孔和所述清洗通道间隔设置 。 5.根据权利要求4所述的喷嘴测试保湿盒， 其特征在于， 每个固定板对应至少一个第 一 固定孔。 6.根据权利要求1所述的喷 嘴测试保湿盒， 其特 征在于， 所述保湿盒本体包括： 第一部分和第二部分， 所述第一部分设于所述第二部分顶面， 所述喷嘴安装孔连通所 述第一部分的顶面和底面， 所述收集槽开设于所述第二部分的顶面； 密封组件， 所述密封组件设于所述第一部分和所述第二部分之间。 7.根据权利要求6所述的喷 嘴测试保湿盒， 其特 征在于， 所述喷 嘴测试保湿盒还 包括： 第二插槽， 所述第二插槽开设于所述第一部分的至少一个侧面； 第三加强件， 所述第三加强件设于所述第二插槽内； 其中， 第二部分设有定位孔， 所述定位孔通过紧固件连接所述第一部分和所述第三加 强件。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 114602872 B 2一种喷嘴测试保湿盒 技术领域 [0001]本发明涉及半导体行业晶圆领域， 尤其涉及一种喷 嘴测试保湿盒。 背景技术 [0002]在光刻胶显影工艺中， 光刻胶涂布至基板后进行曝光显影， 形成线路。 光刻胶涂布 时必须保证光刻胶厚度均匀， 采用合适的光刻胶， 通过匀胶机在一定温度和晃动幅度下进 行匀胶， 以光刻胶厚度的均匀性； 同时， 喷嘴的吸胶的性能也是影响光刻胶涂布效果的重要 因素。 [0003]目前， 喷嘴测试平台中， 喷嘴单独测试或保湿， 并单独收集废液， 因此 效率低， 无法 集中排出废液。 发明内容 [0004]因此， 本发明提供一种喷嘴测试保湿盒， 有效解决保湿盒无法对多个喷嘴进行保 湿或测试， 无法将 废液集中排出的问题。 [0005]一方面， 本 发明提供一种喷嘴测试保湿盒， 包括： 保湿盒本体； 多个喷嘴安装孔， 所 述喷嘴安装孔开设于所述保湿盒本体的顶面； 收集槽， 所述收集槽 设于所述保湿盒本体内， 所述收集槽连通所有所述喷嘴安装孔远离所述保湿盒本体顶面的一端； 排液 口， 所述排液 口开设于所述保湿盒本体的任意 一侧， 并连通所述收集槽 。 [0006]采用该技术方案后所达到的技术效果： 多个所述喷嘴安装孔可用于容纳多个喷 嘴， 便于多个喷嘴进 行保湿或测试； 收集槽可用于容纳 避免光刻胶固化的液体， 从而避免喷 嘴中的光刻胶固化； 所述收集槽也可以用于容纳光刻胶， 以便于喷嘴通过回吸阀吸取光刻 胶， 检测光刻胶的回吸量； 所有喷嘴可共用所述收集槽， 且所述收集槽内的液体能够从所述 排液口集中排出， 从而在增 加喷嘴测试数量的同时提高废液收集效率。 [0007]进一步的， 所述喷嘴测试保湿盒还包括： 喷嘴安装槽， 所述喷嘴安装槽设于所述喷 嘴安装孔的顶部； 其中， 多个所述喷嘴安装孔 沿直线布设， 所述喷嘴安装槽连通所有 所述喷 嘴安装孔。 [0008]采用该技术方案后所达到的技术效果： 所述喷嘴安装槽用于对所述喷嘴进行限 位， 使得所述喷嘴能够稳定安装于所述喷 嘴安装槽 。 [0009]进一步的， 所述喷嘴测试保湿盒还包括： 至少一个清洗通道， 所述清洗通道开设于 所述保湿盒本体的侧 面， 所述清洗通道的与所述喷嘴安装孔的横截面相切， 每个所述喷嘴 安装孔对应至少一个所述清洗通道。 [0010]采用该技术方案后所达到的技术效果： 所述清洗通道用于通入清洗液至所述喷嘴 安装孔内， 从而对喷嘴进 行清洗； 所述清洗通道的与所述喷嘴安装孔的横截面相切， 使得所 述清洗通道进入所述喷 嘴安装孔的清洗液能够环绕喷 嘴流动， 从而 有效清洗喷 嘴外周。 [0011]进一步的， 所述清洗通道包括： 喷嘴外周清洗通道和喷嘴内壁清洗通道； 其中， 每 个所述喷嘴安装孔连通至少一个所述喷嘴外周清洗通道和至少一个所述喷嘴内壁清洗通说　明　书 1/7 页 3 CN 114602872 B 3