(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210509524.8 (22)申请日 2022.05.11 (71)申请人 苏州亚信华电子科技有限公司 地址 215000 江苏省苏州市高新区运 新路 15号2号厂房1-2层 (72)发明人 阙进林　李永祥　 (74)专利代理 机构 苏州睿翼 专利代理事务所 (普通合伙) 32514 专利代理师 朱林辉 (51)Int.Cl. B08B 3/08(2006.01) B08B 3/02(2006.01) B08B 13/00(2006.01) F26B 21/00(2006.01) H01L 21/67(2006.01) (54)发明名称 一种石英舟清洗设备及其使用方法 (57)摘要 本发明公开了一种石英舟清洗设备及其使 用方法， 包括承载机构、 酸洗机构、 水洗机构、 循 环机构， 承载机构用于承载待清洗硅片； 酸洗机 构包括酸洗槽、 设置与酸洗槽上的盖板， 酸洗槽 内盛放有酸洗液， 并且盖板翻转式罩盖在酸洗槽 上部的开口位置； 水洗机构 包括水洗槽、 出水口， 在水洗槽的内壁设置有出水口， 通过出水口位置 对承载机构上的待清洗硅片进行喷淋式水洗操 作； 所述循环机构与酸洗机构内部连通， 从而控 制酸洗机构内承装的酸洗液进行回流循环操作。 本装置采用酸洗机构与循环机构相互配合， 当不 需要进行酸性清洗时， 将酸洗液直接回收到循环 机构内， 避免酸洗液长期暴露在敞开式的环境下 影响其酸度， 进而影响对待清洗硅片的清洗效 率。 权利要求书2页 说明书4页 附图2页 CN 114951121 A 2022.08.30 CN 114951121 A 1.一种石英舟清洗设备， 包括承载机构(1)、 酸洗机构(2)、 水洗机构(3)、 循环机构(4)， 其特征在于， 所述承载机构(1)用于承载待清洗硅片； 所述承载机构(1)所在的顶部设置有 驱动组件(11)， 通过驱动组件(11)将承载有硅片的承载机构(1)在酸洗机构(2)、 水洗机构 (3)所在的上方区域内来回移动， 并且承载机构(1)上设置有沿上下方向移动的升降组件 (12)， 从而控制待清洗的硅片置 于酸洗机构(2)、 水洗 机构(3)所在内侧位置； 所述酸洗机构(2)包括酸洗槽(21)、 设置与酸洗槽(21)上的盖板(22)， 所述酸洗槽(21) 内盛放有酸洗液， 并且所述盖 板(22)翻转式罩盖在酸洗 槽(21)上部的开口位置； 所述水洗机构(3)包括水洗槽(31)、 出水口(32)， 在所述水洗槽(31)的内壁设置有出水 口(32)， 通过 出水口(32)位置对 承载机构(1)上的待清洗 硅片进行喷淋式水洗操作； 所述循环机构(4)与酸洗机构(2)内部连通， 从而控制酸洗机构(2)内承装 的酸洗液进 行回流循环操作。 2.根据权利要求1所述的石英舟清洗设备， 其特征在于， 所述承载机构(1)所在的挂篮 (101)为格网式斗状结构， 且斗状的开口方向 向外倾斜。 3.根据权利要求1所述的石英舟清洗设备， 其特征在于， 所述水洗机构(3)与酸洗机构 (2)采用平齐位置设置， 并且所述水洗 机构(3)置 于承载机构(1)移出的外侧位置 。 4.根据权利要求1所述的石英舟清洗设备， 其特征在于， 所述酸洗槽(21)所在的底部设 置有第一通道管(201)， 并通过第一通道管(201)与循环机构(4)相连通， 以便将酸洗机构 (2)内的酸洗液抽出或将循环机构(4)内的酸洗液抽入到酸洗 机构(2)的酸洗 槽(21)内。 5.根据权利要求1所述的石英舟清洗设备， 其特征在于， 所述水洗机构(3)所在的侧壁 设置有第二通水管(301)， 使所述第二通水管(301)与出水口(32)连通， 并为出水口(32)持 续供水， 通过所述出水口(32)的出水作业对置于水洗槽(31)内的承载机构(1)上的待清洗 硅片进行喷淋式水洗 。 6.根据权利要求1所述的石英舟清洗设备， 其特征在于， 所述水洗机构(3)上设置的第 二通水管(301)与外部的通风机构连通， 并为水洗 槽(31)进行风吹烘干操作。 7.根据权利要求1所述的石英舟清洗设备， 其特征在于， 所述酸洗机构( 2)、 水洗机构 (3)所在的底部均设置有独立的排出 管件。 8.根据权利要求1 ‑7任一项所述的石英舟清洗设备的使用方法， 其特征在于， 包括以下 步骤： S1、 首先启动承载机构(1)所在顶部的驱动组件(11)， 将挂篮(101)移动至前端部， 并将 待清洗硅片置于挂篮(101)上； S2、 根据清洗工序， 首先将挂篮(101)通过驱动组件(11)移动至水洗槽(31)的上方位 置， 随后控制升降组件(12)将挂篮(101)整体置于水洗槽(31)内部， 控制第二通水管(301) 进行供水， 从出水口(32)采用喷淋式清洗方法进行清洗； S3、 清洗完成后， 通过第二通水管(301)进行通风操作， 从而吹干待清洗硅片表面的水 分； S4、 通过控制挂篮(101)上的驱动组件(11)与升降组件(12)， 将待清洗硅片整体置于酸 洗槽(21)内， 并控制升降组件(12)采用振动方式活动； S5、 酸洗完成后， 关闭酸洗槽(21)上方的盖板(22)， 并同时启动循环机构(4)， 对酸洗槽 (21)内的酸洗液进行回抽操作， 同时移动载有待清洗硅片的挂篮(101)至于水洗槽(31)内权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114951121 A 2进行清洗， 并重复S2、 S3操作； S6、 二次酸洗时， 首先将循环机构(4)内的酸洗液回流至酸洗槽(21)内， 再进行酸洗作 业。 9.根据权利要求8所述的石英舟清洗设备的使用方法， 其特征在于， 所述S2中清洗完成 后， 再将挂篮(101)整体置于承装 水的水洗槽(31)内浸没若干时间， 同时启动升降组件(12) 采用振动方式活动。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114951121 A 3