(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210490991.0 (22)申请日 2022.05.07 (71)申请人 江苏迪丞光电材 料有限公司 地址 221300 江苏省徐州市邳州市邳州经 济开发区环城北路南侧、 沂蒙山路西 侧 (72)发明人 扈百直　董冬青　孔伟华　 (74)专利代理 机构 江苏长德知识产权代理有限 公司 32478 专利代理师 陈飞 (51)Int.Cl. B08B 3/02(2006.01) B08B 1/02(2006.01) B08B 13/00(2006.01) F26B 21/00(2006.01) (54)发明名称 一种平板显示器用钼合金溅射靶材的洗烘 装置及洗烘方法 (57)摘要 一种平板显示器用钼合金溅射靶材的洗烘 装置及洗烘方法， 利用旋转的螺旋叶片及拨片将 靶材卷入料筒内腔， 依次经过去污区、 洗涤区和 烘干区； 移动过程中， 由转动的螺旋叶片联动靶 材周向转动和水平移动， 与螺旋叶片的表面及料 筒的底壁摩擦， 于去污区内加强清洁、 去污的效 果， 于清洗区2内加强清洗效果， 于烘干区内进 一 步去除水渍被烘干后遗留的水渍。 本发明的洗烘 装置及洗烘方法， 其结构简单， 体积小， 使用方 便， 节能节水， 洗烘效果好， 具有很强的实用性和 广泛的适用性。 权利要求书2页 说明书3页 附图1页 CN 114887967 A 2022.08.12 CN 114887967 A 1.一种平板显示器用钼合金溅射靶材的洗烘装置， 其特征在于， 包括横置的料筒， 料筒 内设有由电机轴联动的螺 旋叶片； 沿长度方向， 料筒的内腔由设于螺旋 叶片的轴底部的隔板依次分为去污区、 洗涤区和 烘干区； 所述螺旋叶片包括第一螺旋叶片、 第二螺旋叶片、 第三螺旋 叶片， 分别匹配去污区、 洗 烘区、 出件区， 且螺腔顺接； 所述去污区的料筒内盛 有清洗液； 所述洗烘区包括清洗区和烘干区， 清洗区的料筒顶壁设有喷淋头， 底壁设有漏水口； 烘 干区的料筒顶壁设有接热风机的风口， 底壁设有沥水口； 且， 于去污区、 洗烘区、 出件区的隔板前端的螺旋叶片均设有至螺腔内的拨片， 用于将 螺腔内的靶材抬高后拨至下一段螺腔内。 2.根据权利要求1所述的洗烘装置， 其特征在于， 所述去污区内的料筒内壁及第 一螺旋 叶片的表面， 均为砂面。 3.根据权利要求2所述的洗烘装置， 其特 征在于， 所述砂面 为1500‑2500目。 4.根据权利要求1所述的洗烘装置， 其特征在于， 所述清洗区的底部设有正对漏 水口的 蓄水池。 5.根据权利要求4所述的洗烘装置， 其特征在于， 所述烘干区的底部设有正对沥水口的 沥水管， 沥水管通蓄水池。 6.根据权利要求5所述的洗烘装置， 其特征在于， 所述蓄水池包括一级蓄水池和二级蓄 水池， 沥水管通一级蓄水池， 一级蓄水池和二级蓄水池间设有第一溢水板， 二级蓄水池的末 端设有高度低于第一溢水板的第二溢水板， 第二溢水板后接排水 管。 7.根据权利要求6所述的洗烘装置， 其特征在于， 所述喷淋头包括一级喷淋头由市政供 水， 二级喷淋头由二级蓄水池通过二级循环泵供 水。 8.根据权利要求6所述的洗烘装置， 其特征在于， 所述清洗区和烘干区的料筒内壁及第 二螺旋叶片的表面， 均设有绒布。 9.根据权利要求1所述的洗烘装置， 其特征在于， 所述去污区的底壁设有漏污口， 通设 于去污区底部的集污池。 10.一种平板显示器用钼合金溅射靶材的洗烘方法， 其特征在于， 适用于权利要求1 ‑9 任一项所述的洗烘装置， 包括以下步骤： S1、 靶材由供 料链输送至料筒的入口； S2、 置于料筒入口处的第一螺旋叶片前端的拨片， 拨动靶材并沿料筒的内壁移动至螺 旋叶片的轴的顶部， 再沿螺腔落入去污区； S3、 转动的第一螺旋叶片推动靶材沿料筒的底壁旋转并移动至去污区的末端； 移动过 程中， 清洗液浸没靶材的同时， 由砂面摩擦清洁靶材的对侧面及端面； S4、 洗烘区前端的第一螺旋叶片末端的拨片， 拨动靶材并沿料筒的内壁移动至螺旋叶 片的轴的顶部， 再沿螺腔落入洗烘区； S5、 转动的第二螺旋叶片推动靶材沿料筒的底壁旋转并移动至洗烘区的末端； 移动过 程中， 靶材依次由清洗区的二级喷淋头、 一级喷淋头喷出的水清洗后， 同时由绒布去除表 面 的清洗液；权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114887967 A 2再由烘干区的风口 的热风吹干， 同时由绒布去除表面的水渍； S6、 洗烘完毕后， 由出件区前端的第二螺旋叶片末端的拨片， 拨动靶材并沿料筒的内壁 移动至螺旋叶片的轴的顶部， 再沿螺腔落入出件区； S7、 转动的第三螺 旋叶片推动靶材沿料筒的底壁移动至出 料链。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114887967 A 3