(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123189412.9 (22)申请日 2021.12.17 (73)专利权人 福建省建阳 金石氟业有限公司 地址 354215 福建省南平市 建阳区将口镇 回潭(经营场所:建阳市童游水尾) (72)发明人 陈建华　陈忠毅　周远慧　蓝江煌　 应韵进　蔡宗鹏　 (74)专利代理 机构 福州盈创知识产权代理事务 所(普通合伙) 35226 专利代理师 余宏鹏 (51)Int.Cl. B01F 27/70(2022.01) B01F 35/213(2022.01) B01F 35/83(2022.01) B01F 35/71(2022.01)B01F 35/75(2022.01) B01F 23/10(2022.01) (54)实用新型名称 一种氟氮混合气自动配气装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种氟氮混合气自动配 气装置， 包括配气筒， 所述配气筒内固定安装有 上隔盘、 下隔盘， 所述配气筒 安装有导气机构， 所 述配气筒内固定安装有两个输气泵， 且两个输气 泵的输气端与相应的上隔盘、 下隔盘 之间均固定 安装有输气管， 两个所述输气管内均固定安装有 阻隔盘， 两个所述阻隔盘上均通过连通孔滑动安 装有移动塞， 且每个移动塞与相应连通孔之间均 固定安装有多个复位弹簧， 每个所述输气管内均 安装有检测机构， 所述配气筒内安装有混匀机 构。 优点在于： 本实用新型能够对原料氟氮混合 气与氮气的注入流量进行精确的检测并控制， 使 成品氟氮混合气的浓度更为准确， 且在气体注入 完成后不会发生回流现象， 配气浓度准确、 效率 高、 较为安全。 权利要求书1页 说明书3页 附图4页 CN 216458150 U 2022.05.10 CN 216458150 U 1.一种氟氮混合气自动 配气装置， 包括配气筒 （1） ， 其特征在于， 所述配气筒 （1） 内固定 安装有上隔盘 （4） 、 下隔盘 （5） ， 所述配气筒 （1） 安装有导气机构， 所述配气筒 （1） 内固定安装 有两个输气泵 （6） ， 且两个输气泵 （6） 的输气端与相应的上隔盘 （4） 、 下隔盘 （5） 之间均固定 安装有输气管 （7） ， 两个所述输气管 （7） 内均固定安装有阻隔盘 （15） ， 两个所述阻隔盘 （15） 上均通过连通孔 （16） 滑动安装有移动塞 （18） ， 且每个移动塞 （18） 与相应连通孔 （16） 之间均 固定安装有多个复位弹簧 （17） ， 每个所述输气管 （7） 内均安装有检测机构， 所述配气筒 （1） 内安装有混匀机构。 2.根据权利要求1所述的一种氟氮混合气自动配气装置， 其特征在于， 每个所述移动塞 （18） 上均固定安装有密封盘 （19） ， 且每个密封盘 （19） 的下部均固定安装有与相应连通孔 （16） 相配合的橡胶 密封塞。 3.根据权利要求1所述的一种氟氮混合气自动配气装置， 其特征在于， 所述导气机构包 括固定安装在配气筒 （1） 上的两个补气管 （3） ， 且两个补气管 （3） 分别位于上隔盘 （4） 的上部 与下隔盘 （5） 的下部， 所述配气筒 （1） 内固定安装有出气管 （2） ， 且 出气管 （2） 位于上隔盘 （4） 与下隔盘 （5） 之间。 4.根据权利要求1所述的一种氟氮混合气自动配气装置， 其特征在于， 所述检测机构包 括固定安装在输气管 （7） 内的流量检测仪 （11） 、 上气盘 （14） ， 所述流量检测仪 （11） 上通过转 动辊转动安装有两个检测板 （12） ， 且 上气盘 （14） 上开设有与两个检测板 （12） 相配合的上气 孔 （13） 。 5.根据权利要求1所述的一种氟氮混合气自动配气装置， 其特征在于， 所述混匀机构包 括固定安装在配气筒 （1） 内的伺服电机 （8） ， 所述伺服电机 （8） 的驱动端上固定安装有转杆 （9） ， 且转杆 （9） 上固定安装有 多个混合叶 （10） 。 6.根据权利要求1所述的一种氟氮混合气自动配气装置， 其特征在于， 所述配气筒 （1） 内固定安装有浓度检测仪， 且 浓度检测仪位于上隔盘 （4） 与下隔盘 （5） 之间。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216458150 U 2一种氟氮混合气自动配气装 置 技术领域 [0001]本实用新型涉及氟氮 混合气配气的技术领域， 尤其涉及 一种氟氮混合气自动配气 装置。 背景技术 [0002]氟氮混合气是精细化工领域的重要原料， 其广泛应用于电子、 激光技术、 医药塑料 等领域， 可用于玻璃浸蚀、 金属材 料、 管道的表面 钝化处理等； [0003]氟氮混合气在制备时， 通常会采用配气装置将浓度为30％的原料氟氮混合气与 99.99％的氮气进行混合， 从而得到 3‰的成品氟氮混合气； [0004]现有配气装置在进行原料氟氮混合气与氮气混合时， 无法精准的把控两种 气体的 流通量配气量， 从而无法精确的制备出适合浓度的成品氟氮混合气， 且输气时易发生气体 回流的现象， 具有一定的局限性； [0005]因此亟需设计一种氟氮混合气自动配气装置来 解决上述问题。 实用新型内容 [0006]本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的问题， 而提出的一种氟氮混合气 自动配气装置 。 [0007]为了实现上述目的， 本实用新型采用了如下技 术方案： [0008]一种氟氮混合气自动配气装置， 包括配气筒， 所述配气筒内固定安装有上隔盘、 下 隔盘， 所述配气筒安装有导气 机构， 所述配气筒内固定安装有两个输气泵， 且两个输气泵的 输气端与相应的上隔盘、 下隔盘之间均固定安装有输气管， 两个所述输气管内均固定安装 有阻隔盘， 两个所述阻隔盘上均通过连通孔滑动安装有移动塞， 且每个移动塞与相应连通 孔之间均固定安装有多个复位弹簧， 每个所述输气管内均安装有检测机构， 所述配气筒内 安装有混匀机构。 [0009]在上述的一种氟氮混合气自动配气装置中， 每个所述移动塞上均固定安装有密封 盘， 且每个密封盘的下部均固定安装有与相应连通 孔相配合的橡胶 密封塞。 [0010]在上述的一种氟氮混合气自动配气装置中， 所述导气机构包括固定安装在配气筒 上的两个补气管， 且两个补气管分别位于上隔盘的上部与下隔盘的下部， 所述配气筒内固 定安装有出气管， 且出气管位于上隔盘与下隔盘之间。 [0011]在上述的一种氟氮混合气自动配气装置中， 所述检测机构包括固定安装在输气管 内的流量检测仪、 上气 盘， 所述流量检测仪上通过转动辊转动安装有两个检测板， 且上气盘 上开设有与两个 检测板相配合的上气孔。 [0012]在上述的一种氟氮混合气自动配气装置中， 所述混匀机构包括固定安装在配气筒 内的伺服电机， 所述伺服电机的驱动端上固定安装有转杆， 且转杆上固定安装有多个混合 叶。 [0013]在上述的一种氟氮混合气自动配气装置中， 所述配气筒内固定安装有浓度检测说　明　书 1/3 页 3 CN 216458150 U 3