(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123182594.7 (22)申请日 2021.12.17 (73)专利权人 无锡奥特维科技股份有限公司 地址 214000 江苏省无锡市新区珠 江路25 号 (72)发明人 徐飞　李昶　刘世挺　 (74)专利代理 机构 无锡永乐唯勤专利代理事务 所(普通合伙) 32369 专利代理师 孙际德 (51)Int.Cl. B65G 47/90(2006.01) B65G 47/74(2006.01) (54)实用新型名称 一种硅片上 料装置 (57)摘要 本实用新型提供了一种硅片上料装置， 包括 安装支架、 主输送机构、 第一 缓存输送机构、 第二 缓存输送机构、 上料机构及缓存机构。 上料机构 包括第一上料部和第二上料部， 上料机构滑动至 第一上料工位时， 第一上料部、 第二上料部分别 与第一缓存输送机构、 主输送机构对接， 上料机 构滑动至第二上料工位时， 第一上料部、 第二上 料部分别与主输送机构、 第二缓存输送机构对 接。 缓存机构滑动连接在安装支架上， 缓存机构 滑动至第一缓存输送机构或第二缓存输送机构 处时与第一缓存输送机构或第二缓存输送机构 对接， 缓存机构滑动至主输送机构处 时与主输送 机构对接。 料篮更换过程中， 缓存机构将硅片上 料至主输送机构， 保证主输送机构连续地将硅片 输送至下道处 理工位。 权利要求书2页 说明书7页 附图3页 CN 216763443 U 2022.06.17 CN 216763443 U 1.一种硅片上料装置， 其特征在于， 所述硅片上料装置包括安装支架、 主输送机构、 第 一缓存输送机构、 第二缓存输送机构、 上 料机构及缓存机构， 其中： 所述第一缓存输送机构、 所述第二缓存输送机构设置在所述主输送机构的两侧， 所述 第一缓存输送机构、 所述主输送机构及所述第二缓存输送机构 被配置为沿第一水平方向输 送硅片； 所述上料机构滑动连接在所述安装支架上， 所述上料机构包括第 一上料部和第 二上料 部， 所述上料机构被配置为在与所述第一水平方向垂直的第二水平方向上滑动； 所述上料 机构滑动至第一上料工位时， 所述第一上料部、 所述第二上料部分别与所述第一缓存输送 机构、 所述主输送机构的上料端对接， 以分别将硅片上料至所述第一缓存输送机构、 所述主 输送机构上； 所述上料机构滑动至第二上料工位时， 所述第一上料部、 所述第二上料部 分别 与所述主输送机构、 所述第二缓存输送机构的上料端对接， 以分别将硅片上料至所述主输 送机构、 所述第二缓存输送机构上； 所述缓存机构滑动连接在所述安装支架上， 所述缓存机构被配置为在所述第 二水平方 向上滑动， 所述缓存机构滑动至所述第一缓存输送机构或所述第二缓存输送机构处时， 与 所述第一缓存输送机构或所述第二缓存输送机构对接， 所述第一缓存输送机构或所述第二 缓存输送机构将硅片缓存至所述缓存机构 内； 所述缓存机构滑动至所述主输送机构处时， 与所述主输送机构对接， 所述缓存机构内缓存的硅片落入所述主输送机构上。 2.如权利要求1所述的硅片上 料装置， 其特 征在于， 所述缓存机构设置为两组， 其中： 第一组缓存机构被配置为在第 一缓存工位和补料工位之间滑动， 所述第 一组缓存机构 滑动至所述第一缓存工位时， 所述第一组缓存机构与所述第一缓存输送机构对接， 所述第 一缓存输送机构将硅片缓存至所述第一组缓存机构内， 所述第一组缓存机构滑动至所述补 料工位时， 所述第一组缓存机构与所述主输送机构对接， 所述第一组缓存机构内缓存的硅 片落入所述主输送机构上； 第二组缓存机构被配置为在第 二缓存工位和所述补料工位之间滑动， 所述第 二组缓存 机构滑动至所述第二缓存工位时， 所述第二组缓存机构与所述第二缓存输送机构对接， 所 述第二缓存输送机构将硅片缓存至所述第二组缓存机构内， 所述第二组缓存机构滑动至所 述补料工位时， 所述第二组缓存机构与所述主输送机构对接， 所述第二组缓存机构内缓存 的硅片落入所述主输送机构上。 3.如权利要求1所述的硅片上料装置， 其特征在于， 所述第 一上料部和所述第 二上料部 均包括料篮旋转夹持机构和过渡输送机构， 其中： 所述料篮旋转夹持机构用于夹持料篮并带动料篮在水平状态和竖直状态之间翻转， 硅 片叠放于料篮内； 所述过渡输送机构的上料端靠近所述料篮旋转夹持机构， 所述料篮旋转夹持机构带动 所述料篮翻转至竖直状态时， 叠放于料篮内的硅片依次落至所述过渡输送机构的上 料端。 4.如权利要求3所述的硅片上料装置， 其特征在于， 所述料篮旋转夹持机构包括旋转机 构、 承载板及夹持机构， 其中： 所述承载板连接在所述旋转机构的驱动端上， 所述旋转机构 驱动所述承载板在水平状 态和竖直状态之间翻转切换； 所述夹持机构包括成对设置在所述承载板上的第 一夹持块和第 二夹持块， 所述第 一夹权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 216763443 U 2持块和所述第二夹持块配合将料篮夹紧定位在所述承载板上。 5.如权利要求1所述的硅片上料装置， 其特征在于， 所述硅片上料装置还包括设置在所 述安装支架上的第一平移机构， 所述第一平移机构用于驱动所述上料机构在所述第一上料 工位和所述第二上 料工位之间滑动。 6.如权利要求1所述的硅片上料装置， 其特征在于， 所述硅片上料装置还包括设置在所 述安装支架上的第二平移机构， 第二平移机构用于驱动所述缓存机构在所述第二水平方向 上滑动。 7.如权利要求1所述的硅片上料装置， 其特征在于， 所述缓存机构包括升降机构及缓存 支架， 其中： 所述升降机构滑动连接在所述 安装支架上； 所述缓存支架连接在所述升降机构的驱动端上， 所述缓存支架内沿竖直方向设置有若 干硅片缓存槽， 每 个所述硅片缓存槽均缓存一片硅片； 所述升降机构 驱动所述缓存支架升降， 以使得所述缓存支架与 所述第一缓存输送机构 或所述第二缓存输送机构对接， 第一缓存输送机构或所述第二缓存输送机构上的硅片进入 至所述缓存支 架内的一个所述硅片缓存槽内； 以及 使得所述缓存支架与 所述主输送机构对接， 位于所述缓存支架内的最底部的硅片落至 所述主输送机构上。 8.如权利要求7所述的硅片上料装置， 其特征在于， 所述缓存支架包括连接板、 第一安 装侧板及第二 安装侧板， 其中： 所述连接 板连接在所述升降机构上； 所述第一安装侧板和所述第 二安装侧板并排连接在所述连接板上， 所述第 一安装侧板 的内壁上设置有若干道用于容纳硅片的第一侧边的第一插槽， 所述第二安装侧板的内壁上 设置有若干道与所述第一插槽一一对应的用于容纳硅片的第二侧边的第二插接槽， 每道所 述第一插槽与对应的所述第二插接 槽均构成一个所述硅片缓存槽 。 9.如权利要求8所述的硅片上料装置， 其特征在于， 所述第 一安装侧板和所述第 二安装 侧板均经水平滑轨滑动连接在所述连接板上， 所述第一安装侧板和所述第二安装侧板沿所 述水平滑轨向中间滑动靠 拢及向两边滑动分开。 10.如权利要求9所述的硅片上料装置， 其特征在于， 所述连接板上设置有安装侧板驱 动机构， 所述安装侧板驱动机构的第一驱动端连接所述第一安装侧板， 所述安装侧板驱动 机构的第二驱动端连接所述第二 安装侧板； 所述安装侧板驱动机构用于驱动所述第一安装侧板和所述第二安装侧板沿所述水平 滑轨向中间滑动靠 拢及向两边滑动分开。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 216763443 U 3