(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123345597.8 (22)申请日 2021.12.28 (73)专利权人 捷螺系统 （苏州） 有限公司 地址 215100 江苏省苏州市相城区阳澄湖 镇枪堂村启南路99号(苏州东方顺达 物流有限公司1号厂房2 楼223室) (72)发明人 邵颖　 (74)专利代理 机构 南京乐羽知行专利代理事务 所(普通合伙) 32326 专利代理师 王环宇 (51)Int.Cl. B65G 47/90(2006.01) (54)实用新型名称 晶圆储存盒专用转 运夹爪 (57)摘要 本实用新型公开了一种晶圆储存盒专用转 运夹爪， 包括与多轴机械臂相连的底座， 还包括U 形爪叉、 位置开关以及位置检测传感器， 所述U形 爪叉连接至所述底座， 在所述U形爪叉内侧设有 与晶圆储存盒匹配的导轨， 所述U形爪叉前端的 两个支爪上各设有一个所述位置开关， 由所述位 置开关确定所述U形爪叉的位置， 所述位置检测 传感器分别布设在所述U形爪叉末端的两侧用于 检测晶圆储存盒是否装夹至指定位置。 本申请用 于安装在自走车上， 可精确且 稳定的完成对晶圆 储存盒的夹取和放置动作， 效率高且不会对其造 成损伤。 权利要求书1页 说明书2页 附图1页 CN 216784953 U 2022.06.21 CN 216784953 U 1.一种晶圆储存盒专用转运夹爪， 包括与多轴机械臂相连的底座， 其特征在于： 还包括 U形爪叉、 位置开关以及位置检测传感器， 所述U形爪叉连接至所述底座， 在所述U形爪叉内 侧设有与晶圆储存盒匹配的导轨， 所述U形爪叉前端的两个支爪上各设有一个所述位置开 关， 由所述位置开关确定所述U形爪叉 的位置， 所述位置检测传感器分别布设在所述U形爪 叉末端的两侧用于检测晶圆储 存盒是否装夹 至指定位置 。 2.根据权利要求1所述的晶圆储存盒专用转运夹爪， 其特征在于： 所述U形爪叉上还设 置检测探 头用于检测待装夹位置上 是否放置晶圆储 存盒。 3.根据权利要求1所述的晶圆储存盒专用转运夹爪， 其特征在于： 所述U形爪叉上两个 支爪前端设置碰撞门闸， 所述碰撞门闸的两端通过设置联动拨片可转动连接至两个支爪， 所述联动拨片与支爪之间设置微动开关， 支爪上还设置复位弹簧连接所述联动拨片。 4.根据权利要求1所述的晶圆储存盒专用转运夹爪， 其特征在于： 所述U形爪叉上形成 有用于支撑晶圆储存盒的支撑部， 所述支撑部沿整个U 形爪叉内侧周向设置， 所述导轨 设置 在所述支撑 部上。 5.根据权利要求4所述的晶圆储存盒专用转运夹爪， 其特征在于： 所述导轨上设置多个 用于定位晶圆储 存盒位置的定位柱。 6.根据权利要求4所述的晶圆储存盒专用转运夹爪， 其特征在于： 所述支撑部上方还设 置防脱固定 板。 7.根据权利要求1所述的晶圆储存盒专用转运夹爪， 其特征在于： 所述U形爪叉上设置 多个线束固定座。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216784953 U 2晶圆储存盒专用转运夹爪 技术领域 [0001]本实用新型 涉及晶圆运输技 术领域， 具体为晶圆储 存盒专用转 运夹爪。 背景技术 [0002]晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片， 由于其形状为圆形， 故称为晶圆， 为了确保晶圆的安全储存、 运输、 搬运， 广泛运用晶圆储存盒作为晶圆的承载工具， 当晶圆 储存盒需要运输转移时， 现有采用人工进 行搬运， 不仅效率低下， 由于人为因素原因还会对 晶圆储存盒造成损伤。 实用新型内容 [0003]为解决现有技术的不足， 本申请提供了一种晶圆储存盒专用转运夹爪， 包括与多 轴机械臂相连的底座， 还包括U 形爪叉、 位置开关以及位置检测传感器， 所述U 形爪叉连接至 所述底座， 在所述U形爪叉内侧设有与晶圆储存盒匹配的导轨， 所述U形爪叉前端的两个支 爪上各设有一个所述位置开关， 由所述位置开关确定所述U 形爪叉的位置， 所述位置检测传 感器分别布设在所述U形爪叉末端的两侧用于检测晶圆储 存盒是否装夹 至指定位置 。 [0004]进一步的， 所述U形爪叉上还设置检测探头用于检测待装夹位置上是否放置 晶圆 储存盒。 [0005]进一步的， 所述U形爪叉上两个支爪前端设置碰撞门闸， 所述碰撞门闸的两端通过 设置联动拨片可转动连接至两个支爪， 所述联动拨片与支爪之间设置微动开关， 支爪上还 设置复位弹簧连接所述联动拨片。 [0006]进一步的， 所述U形爪叉上形成有用于支撑晶圆储存盒的支撑部， 所述支撑部沿整 个U形爪叉内侧周向设置， 所述导轨 设置在所述支撑部上， 所述支撑部上方还设置防脱固定 板， 用于从上 方固定晶圆储 存盒。 [0007]进一步的， 所述导轨上设置多个用于定位晶圆储存盒位置 的定位柱， 便于对晶圆 储存盒移动 后的限位以及定位。 [0008]进一步的， 所述U形爪叉上设置多个线束固定座， 用于固定各种元器件连接的线 束。 [0009]本申请的有益之处在于： 提供的晶圆储存 盒专用转运夹爪可精确且稳定的完成对 晶圆储存盒的夹取和放置动作， 效率高且不会 对其造成损伤。 附图说明 [0010]图1为本申请晶圆储 存盒专用转 运夹爪一种实施例结构示 意图； [0011]图2为图1夹取晶圆储 存盒结构示 意图。 [0012]图中标记为： 10、 底座， 11、 U形爪叉， 111， 支撑部， 12、 位置检测传感器， 13、 检测探 头， 14、 导轨， 15、 定位柱， 16、 碰撞门闸， 17、 联动拨片， 18、 复位弹簧， 19、 微动 开关， 20、 防脱 固定板， 21、 线 束固定座， 2 2、 视频相机， 23、 晶圆储 存盒， 24、 装夹 板， 241、 定位槽 。说　明　书 1/2 页 3 CN 216784953 U 3