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(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222332691.8 (22)申请日 2022.09.02 (73)专利权人 厦门汉盾光学 科技有限公司 地址 361000 福建省厦门市 火炬高新区(翔 安)产业区翔安北路3699号火炬高新 大厦206室 (72)发明人 孙卫东 曹政 孙卫平 陈骁 陈阿传 郭雅玲 (51)Int.Cl. H05K 7/20(2006.01) H05K 5/02(2006.01) (54)实用新型名称 一种真空镀膜机用冷却机构 (57)摘要 本实用新型涉及降温技术领域, 且公开了一 种真空镀膜机用冷却机构, 包括安装块, 所述安 装块的上表 面设有防护组件, 所述防护组件包括 防护壳, 所述防护壳固定连接在安装块的上表 面, 所述防护壳的圆周外壁开设有多个贯穿的透 气孔, 所述防护壳的顶部内壁固定连接有电机, 所述电机输出轴的一端固定连接有连接杆, 所述 连接杆的底部固定连接有转动块, 本实用新型通 过设有冷却管和扇叶, 有利于降低装置本体的温 度, 当传感器的温度过高, 通过冷却管的设置, 使 得注水槽内部液体温度降低, 之后启动电机, 使 得电机的输出轴转动带动转动块转动, 转动块转 动带动扇叶转动, 从而使 得装置本体内部空气流 通, 从而使得流通空气对放置槽内的传感器进行 降温。 权利要求书1页 说明书3页 附图4页 CN 218183833 U 2022.12.30 CN 218183833 U 1.一种真空镀膜机用冷却机构, 包括安装块 (1) , 其特征在于: 所述安装块 (1) 的上表面 设有防护组件 (3) ; 所述防护组件 (3) 包括防护壳 (301) , 所述防护壳 (301) 固定连接在安装块 (1) 的上表 面, 所述防护壳 (301) 的圆周外壁开设有多个贯穿的透气孔 (302) , 所述防护壳 (301) 的顶部 内壁固定连接有电机 (303) , 所述电机 (303) 输出轴的一端固定连接有 连接杆 (304) , 所述连 接杆 (304) 的底部固定连接有转动块 (305) , 所述转动块 (305) 的圆周外壁固定连接有多个 扇叶 (306) , 所述安装块 (1) 的上表面 开设有放置孔, 多个所述扇叶 (3 06) 位于放置孔内。 2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用冷却机构, 其特征在于: 所述安装块 (1) 的 一侧开设有放置槽 (8) , 所述放置槽 (8) 的底部内壁开设有多个贯穿的进气孔 (6) , 所述安装 块 (1) 的底部设有过 滤组件 (5) 。 3.根据权利要求2所述的一种真空镀膜机用冷却机构, 其特征在于: 所述过滤组件 (5) 包括安装框 (501) , 所述安装框 (501) 固定连接在安装块 (1) 的底部, 所述安装框 (501) 的一 侧设有滑槽 (502) , 所述滑槽 (502) 内活动 连接有过滤板 (503) , 所述过滤板 (503) 的上表面 设有过滤孔 (504) , 所述过滤板 (503) 的一侧设有把手 (505) , 所述安装块 (1) 内设有冷却组 件。 4.根据权利要求3所述的一种真空镀膜机用冷却机构, 其特征在于: 所述冷却组件包括 两个注水槽 (9) , 两个所述注水槽 (9) 位于安装块 (1) 内, 两个所述注水槽 (9) 分别位于放置 槽 (8) 的两侧, 所述注水槽 (9) 内固定安装有冷却管 (10) , 所述注水槽 (9) 的顶部内壁设有注 水组件 (4) 。 5.根据权利要求4所述的一种真空镀膜机用冷却机构, 其特征在于: 所述注水组件 (4) 包括注水孔 (401) , 所述注水孔 (401) 贯穿开设在注水槽 (9) 的顶部内壁, 所述注水孔 (401) 内设有密封单 元。 6.根据权利要求5所述的一种真空镀膜机用冷却机构, 其特征在于: 所述密封单元包括 皮塞 (402) , 所述皮塞 (402) 位于注水孔 (401) 内, 且皮塞 (402) 与注水孔 (401) 螺纹连接, 所 述安装块 (1) 的两侧均设有两个固定组件 (2) 。 7.根据权利要求6所述的一种真空镀膜机用冷却机构, 其特征在于: 所述固定组件 (2) 包括固定板 (201) , 所述固定板 (201) 固定连接在安装块 (1) 的一侧, 所述固定板 (201) 的一 侧开设有贯 穿的固定孔 (202) , 所述 安装块 (1) 的一侧开设有 多个穿线孔 (7) 。权 利 要 求 书 1/1 页 2 CN 218183833 U 2一种真空镀膜机用冷却机构 技术领域 [0001]本实用新型 涉及降温技 术领域, 更 具体地涉及一种真空镀膜机用冷却机构。 背景技术 [0002]真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜。 而常用的蒸发镀膜一般 是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。 并且沉降在覆膜玻璃表面, 通过 成膜过程在覆 膜玻璃上 形成薄膜, 真空镀膜机内设置有检测真空泵的气压大小的传感器。 [0003]现有的真空镀膜机因长时间作业后, 容易使得传感器的温度升高, 高温下传感器 容易出现失灵的问题, 从而导致最 终设备的生产问题, 为此, 提出一种真空镀膜机用冷却机 构。 实用新型内容 [0004]为了克服现有技术的上述缺陷, 本实用新型提供了一种真空镀膜机用冷却机构, 以解决上述背景技 术中存在的问题。 [0005]本实用新型提供如下技术方案: 一种真空镀膜机用冷却机构, 包括安装块, 所述安 装块的上表面设有防护组件; [0006]所述防护组件包括 防护壳, 所述 防护壳固定连接在安装块的上表面, 所述防护壳 的圆周外壁开设有多个贯穿的透气孔, 所述防护壳的顶部内壁固定连接有电机, 所述电机 输出轴的一端固定连接有连接杆, 所述连接杆的底部固定连接有转动块, 所述转动块的圆 周外壁固定连接有多个扇叶, 所述安装块的上表面开设有放置孔, 多个所述扇叶位于放置 孔内; [0007]进一步的, 所述安装块的一侧开设有放置槽, 所述放置槽 的底部内壁开设有多个 贯穿的进气孔, 所述安装块的底部 设有过滤组件, 通过放置槽的设置, 方便对传感器进行放 置。 [0008]进一步的, 所述过滤组件包括安装框, 所述安装框固定连接在安装块的底部, 所述 安装框的一侧设有滑槽, 所述滑槽内活动连接有过滤板, 所述过滤板的上表面设有 过滤孔, 所述过滤板的一侧设有把手, 所述安装块内设有冷却组件, 通过过滤组件的设置, 方便对空 气进行过滤。 [0009]进一步的, 所述冷却组件包括两个注水槽, 两个所述注水槽位于安装块内, 两个所 述注水槽分别位于放置槽的两侧, 所述注水槽内固定安装有冷却管, 所述注水槽的顶部内 壁设有注水组件, 通过冷却管的设置, 方便降低注水槽内部液体温度。 [0010]进一步的, 所述注水组件包括注水孔, 所述注水孔贯穿开设在注水槽的顶部内壁, 所述注水孔内设有密封单 元, 通过注水孔的设置, 方便对注水槽内部进行注水。 [0011]进一步的, 所述密封单元包括皮塞, 所述皮塞位于注水孔内, 且皮塞与注水孔螺纹 连接, 所述 安装块的两侧均设有两个固定组件, 通过皮塞的设置, 方便对注水孔进行密封 。 [0012]进一步的, 所述固定组件包括固定板, 所述固定板固定连接在安装块的一侧, 所述说 明 书 1/3 页 3 CN 218183833 U 3
专利 一种真空镀膜机用冷却机构
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