ICS 31.020 L 97 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T 16880—1997 光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则 Guidelines for photomask defect classification and size definition 1997-06-20发布 1998-03-01实施国家技术监督局发布 GB/T16880-1997 目次前言 1范围引用标准 3 掩模缺陷的类别光掩模缺陷大小的定义

GB-T 16880-1997 光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则

文档预览

中文文档 7 页 50 下载 1000 浏览 0 评论 309 收藏 3.0分

赞助2.5元下载(无需注册)

温馨提示：本文档共7页，可预览 3 页，如浏览全部内容或当前文档出现乱码,可开通会员下载原始文档

下载文档到电脑，方便使用

赞助2.5元下载

本文档由人生无常于 2024-06-13 05:26:52上传分享

下载原文档(3.2 MB)

友情链接