ICS 31.080.99 CCS L 59 GE 中华人民共和国国家标准 GB/T 42597—2023/IEC 62047-20:2014 陀螺仪 微机电系统（MEMS)技术 Micro-electromechanical systems technologyGyroscopes (IEC 62047-20 :20 14 , Semiconductor devicesMicro-electromechanical devices- Part 20 :Gyroscopes , IDT) 2023-09-01实施 2023-05-23 发布 国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会 GB/T 42597—2023/IEC 62047-20 :2014 目 次 前言 范围 规范性引用文件 3 术语和定义 基本评级和特征 4.1 陀螺仪的分类 绝对最大额定值 4.2 4.3 正常工作额定值 4.4 性能参数 测量方法 5.1 标度因数 5.2 交叉轴灵敏度 15 5.3 零偏 18 5.4 输出噪声 5.5 带宽· 31 5.6 分辨率 附录A（资料性）陀螺仪特性测量值的准确度 38 参考文献 39 GB/T 42597—2023/IEC 62047-20:2014 前言 本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 本文件等同采用IEC62047-20:2014《半导体器件微机电器件第20部分：陀螺仪》。 本文件做了下列最小限度的编辑性改动： a）为与现有标准协调,将标准名称改为《微机电系统（MEMS)技术陀螺仪》； 纠正了IEC62047-20：2014原文中的错误：更正了图18中宽带噪声范围的标注； b） 纠正了IEC62047-20：2014原文中的错误：更正了公式（20）和公式（21)的运算符号。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由全国微机电技术标准化技术委员会（SAC/TC336)提出并归口。 本文件起草单位：苏州市质量和标准化院、中机生产力促进中心有限公司、工业和信息化部电子第 五研究所、东南大学、苏州市标准化协会、北京航天控制仪器研究所、华东光电集成器件研究所、四川富 生电器有限责任公司、中国合格评定国家认可中心、北京微元时代科技有限公司。 本文件主要起草人：沈俊杰、李根梓、顾枫、张硕、董显山、周再发、来萍、邢朝洋、王晓臣、张运昌、 王志远、闫桂珍。 1