GB-T 43972-2024 集成电路封装设备远程运维 状态监测

ICS31.260 GB CCS L 97 中华人民共和国国家标准 GB/T 43972—2024 集成电路封装设备远程运维状态监测 Remote operation and maintenance of integrated circuit packaging equipmentStatus monitoring SAC 2024-04-25发布 2024-11-01实施国家市场监督管理总局发布国家标准化管理委员会 GB/T43972—2024 目次前言引言范围 2 规范性引用文件 3 术语和定义缩略语状态监测系统架构 6 状态监测主要流程监测对象 7.1 设备 7.2 运行环境 8 数据采集 9 监测前置条件设定 9.1 监测参数特征 9.2 状态监测参数分类 9.3 监测方法选择 9.4 参数测量间隔状态监测过程 10.1 状态监测过程要求 10.2 状态监测信息发布 10.3 预警值和报警值的确定附录A（资料性）典型集成电路封装设备状态监测参数详细信息 A.1 设备基本信息监测参数详细信息 A.2设备运行状况监测参数详细信息 A.3设备工艺监测参数详细信息 A.4设备关键部件监测参数详细信息 10 A.5设备运行环境监测参数详细信息 12

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