ICS 71.100.99 G85 团体标准 T/DLSHXH 005—2020 电子工业用气体 溶解乙炔 Gas for electronic industry —Acetylene 大连市石油和化工行业协会 发布 2020- 09 - 30发布 2020- 10 - 30实施 全国团体标准信息平台 T/DLSHXH 005- 2020 I 目 次 前 言 ................................ ................................ .............. II 1 范围 ................................ ................................ ................. 1 2 规范性引用文件 ................................ ................................ .......1 3 术语和定义 ................................ ................................ ........... 2 4 技术要求 ................................ ................................ ............. 2 5 试验方法 ................................ ................................ ............. 2 6 检验规则 ................................ ................................ ............. 3 7 标志、包装、运输和贮存 ................................ ............................... 4 8 安全要求 ................................ ................................ ............. 4 全国团体标准信息平台 T/DLSHXH 005- 2020 II 前 言 本标准按照 GB/T 1.1-2020《标准化工作导则第 1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规 定起草。 本标准由 大连科利德光电子材料有限公司 提出。 本标准由 大连石油和化工行业协会 标准化工作委员会归口。 本标准负责起草单位： 大连科利德光电子材料有限公司 、大连石油和化工行业协会 本标准参加起草单位： 沈阳拓荆科技有限公司 本标准主要起草人： 施旖旎、寻虎、冯凯、李文博、徐雪婷 、孙瑞玉 本标准2020年9月首次发布。 全国团体标准信息平台 T/DLSHXH 005- 2020 1 电子工业用气体 溶解乙炔 1 范围 本标准规定了电子工业用气体溶解乙炔的 技术要求、试验方法、检验规则 及产品的标志、包装、贮 运及安全要求。 本标准适用于以工业乙炔为原料经纯化制备的电子工业用气体 溶解乙炔 。电子工业用气体 溶解乙炔 主要用于半导体领域 。 分子式： C2H2 相对分子质量： 26.04（按 2011年国际相对原子质量 ） 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB 190 危险货物包装标志 GB/T 5832.1 气体分析 微量水分的测定 第1部分：电解法 GB 6819 溶解乙炔 GB/T 7144 气瓶颜色标志 GB 16804 气瓶警示标签 GB 11638 溶解乙炔气瓶 GB 13591 溶解乙炔充 装规定 GB 15258 化学品安全标签编写规定 GB 1648 3 化学品安全技术说明书 编写规定 GB 16804 气瓶警示标签 GB/T 28726 气体分析 氦离子化气相色谱法 TSG R0006 气瓶安全技术监察规程 特种设备安全监察条例 全国团体标准信息平台 T/DLSHXH 005- 2020 2 危险化学品安全管 理条例 危险货物运输管理规则 3 术语和定义 本标准中电子工业用气体 溶解乙炔 是指99.99%的溶解乙炔 产品。 4 技术要求 电子工业用气体溶解乙炔 技术指标应符合表 1的要求。 表1 技术指标 5 试验方法 5.1 溶解乙炔的纯度 99.99%溶解乙炔 的纯度按式 （1）计算： 项 目 指 标 溶解乙炔 纯度， 10-2(V/V) ≥99.99 氢含量， 10-6(V/V) ≤1 氧（氩）含量， 10-6(V/V) ≤10 氮含量， 10-6(V/V) ≤30 一氧化碳含量， 10-6(V/V) ≤3 二氧化碳含量， 10-6(V/V) ≤5 甲烷含量，10-6(V/V) ≤10 乙烷含量， 10-6(V/V) ≤10 乙烯含量 ，10-6(V/V) ≤10 丙烷含量 ，10-6(V/V) ≤10 丙酮含量，10-6(V/V) ≤10 磷化氢含量， 10-6(V/V) ≤1 硫化氢含量， 10-6(V/V) ≤1 水含量，10-6(V/V) ≤3 全国团体标准信息平台 T/DLSHXH 005- 2020 3 φ=10 0-(φ1+φ2+φ3+φ4+φ5+φ6+φ7+φ8+φ9+φ10+φ11+φ12+φ13)× 10-4 （1） 式中：φ— 溶解乙炔 的纯度，10-2 (V/V)； φ1— 氢含量，10-6 (V/V)； φ2— 氧（氩）含量，10-6 (V/V)； φ3— 氮含量，10-6 (V/V)； φ4— 一氧化碳含量 ，10-6 (V/V)； φ5— 二氧化碳含量 ，10-6 (V/V)； φ6— 甲烷含量， 10-6 (V/V )； Φ7— 乙烷含量，10-6 (V/V)； Φ8— 乙烯含量，10-6 (V/V)； Φ9— 丙烷含量，10-6 (V/V)； Φ10— 丙酮含量，10-6 (V/V)； Φ11— 磷化氢含量，10-6 (V/V)； Φ12— 硫化氢含量，10-6 (V/V)； Φ13— 水含量，10-6 (V/V)； 5.2 氢、氧（氩）、氮、甲烷、一氧化碳、二氧化碳、乙烷、乙烯、丙烷、丙酮、磷化氢和硫化氢含量 的测定 按GB/T 28726规定的切割进样的方法测定 溶解乙炔 中的氢、氧（氩）、氮、 甲烷、一氧化碳、二 氧化碳、乙烷、乙烯、丙烷、丙酮、磷化氢和硫化氢 含量。 5.3 水含量的测定 水含量的测定按GB/T 5832.1 规定执行 。 6 检验规则 6.1 出厂检验 溶解乙炔产品应逐 瓶检验并验收，出厂检验项目为包括本标准要求中的全部项目。 6.2 判定规则 全国团体标准信息平台 T/DLSHXH 005- 2020 4 如果检验结 果有一项 指标不符合本标准的要求， 应重新自该批产品中取双倍取数量的试样气瓶进行 复验。复验结果即使 有一项指标不 符合本标准的要求，则整批 溶解乙炔为不合格。 7 标志、包装、运输和贮存 7.1 溶解乙炔 包装标志应符 合GB 190的相关规定，包装容器 上应标明“ 溶解乙炔 ”字样；颜色标志应 符合 GB/T 7144的规定； 标签应符合 GB 16804 、GB 15258 规定的要求。 7.2溶解乙炔的充装应符合 GB 13591 的规定。 7.3 用于充装溶解乙炔的气瓶应符合 GB 11638 中规定的技术要求 。 7.4 每瓶出厂的溶解 乙炔均应附有产品合格证，并注明：产品名称、本标准编号、主要技术指标、 生产 许可证号、商标、充装量（净含量）、生产厂名称、厂址、生产日期或批号等内容。 7.5 溶解乙炔 生产企业应为顾客提供安全技术说明书，其内容应符合 GB 164 83的规定。 8 安全要求 按GB 6819中规定执行。 _____________________ 全国团体标准信息平台